В ЗНТЦ представили первый отечественный литограф
Зеленоградский нанотехнологический центр представил первую в России разработку фотолитографической установки с разрешением 350 нанометров, предназначенную для производства микросхем. Установку одобрила государственная комиссия, в состав которой вошли представители ведущих отраслевых организаций и крупнейших российских производителей микроэлектроники.
Подробнее
